該儀器在性能上做了重大改革，摒棄了傳統(tǒng)儀器操作費時費力、人工因素影響大等缺點，適用于各個行業(yè)以及實驗室的需求，在使用中更便利。一般來說，水分儀測量一般樣品只需幾分鐘，檢測結(jié)果準確，且檢測效率遠遠高于烘箱法，避免了因為人工因素對測量結(jié)果產(chǎn)生的誤差。除此之外，水分儀還具有測量水分范圍寬、精度高、顯示清晰、測量迅速、性能穩(wěn)定、指標可靠等優(yōu)點，可隨身攜帶在現(xiàn)場快速檢測。

　　

　　超高純度氣體對于半導體集成電路中所要求得越來越小的幾何特點具有極其重要的作用。特別是已經(jīng)證實了的，氣體中只要有十億分之幾(ppb)的水分就可在硅片上導致瑕疵。所以半導體制造商要求氣體供應商清楚地保證水分不能大于1-10ppb，今后會要求更低的水平。

　　

　　半導體產(chǎn)業(yè)對高純度氣體的需求對氣體供應商和分析儀器制造商提出了巨大挑戰(zhàn)。微量水分的監(jiān)測不僅用于大用量氣體，例如氮氣、氧氣、氫氣、氦氣和氬氣，而且還要監(jiān)測特殊氣體，例如HCl，HBr，BF3，AsH3，CF4和許多其他氣體。這些氣體往往是高腐蝕性、易反應和有毒的。

　　

　　激光震蕩衰減水分儀是少數(shù)能達到上述要求的一種基于激光的光譜技術?；诠馇凰ナ幑庾V(CRDS)原理的儀器，MTO-1000-H2O，可以準確、快速地檢測普通氣體中200ppt的水分，此儀器還可用于腐蝕性和有毒氣體。